"65nmプロセスのDFMルールについて。

O

omsi

Guest
こんにちは、
私UMC65nm process.Iに取り組んで午前次のようにDFMのエラーが表¥示さ:

幅がpoly1ゲート"= 0.08umはTGの上ですべき一つの方向に合わせます。
水平方向に優先されます。

でもなぜこれらのゲートの方向を水平方向に従うように求めていると言うか?
あれ偽造問題やその理由はありますか?

してください返信、
事前のおかげで、
Omsi。

 
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場合は、PDKを得ることができるためですので
、 詳細な質問を、理由だけでは技術的な支持求めるか?

 
これは一方向にしか持つことができますし、上の優先拡散の上にポリ手段が水平である。この要件は、65nmノードでは正確な狭いポリ印刷用です

 
すべてのゲートを1つの方向に配置する必要があります...それはリソ¥グラフィの問題だ。

 

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