器RPHはRNPのより大規模な変化

[microwaver]

）（RNPのか高い値をポリ抵抗が（大シート抵抗ポリ器RPHシート小）のプロセスが異なります非常に大きいよりも？私は、PDKを検索、それを見つけられませんでした、参照したり、誰を与える私にいくつかの説明？

 

[Guest]

[No message]

 

[rfsystem]

不純物濃度はレベルが低い制御より困難にする。ゲートnonsilicideはポリドーピングをして約50倍。より安定した。

また、TCはの異なっている。低でRsq場合は、正ている。器RPHは負になります。