リーガ

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---私はこのトピックを投稿するので、私はここに置か知らなかった!

誰でも良い記事や本は、LIGAプロセスについて説明します知っている
私は
、 インターネットを検索しましたが何も多くの有用な発見!
私はこのサイトを発見した例:
http://www.fzk.de/fzk/idcplg?IdcService=FZK&node=0329&lang=en
そのプロセスは
、 私にとっては有用ではありません簡単に説明して

私もこの記事を見つけたと、リーガで誰でも私のためにアップロードすることができますを導入して
、 非常に最初の記事ですか?

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作製の放射光リソ¥グラフィによる高アスペクト比の大きな構¥造の高さ、galvanoformingと、プラスチック成形(LIGAプロセス)微細構¥造
ソ¥ースマイクロエレクトロニクス工学アーカイブ
第4巻、第1号の内容(1986年5月)表¥
ページ:35から56
出版年:1986
キーワード:0167 - 9317
著者
東西ベッカー
幅Ehrfield
P Hagmann
マネル
開発Münchmeyer
出版社
Elsevier科学株式会社オックスフォード、イギリス、英国

*****

 
やあ!
微細加工マルクマドゥ
リーガはいい本だ

__sree

 
リーガでは非常に徹底した本は"マイクロテクノロジー"のプロセス、W. Menz、jをモーアのinventersによって、およびOポール;お気に入り新刊案内- VCH、2001。ISBN 3-527-296334-4。
リーガに関するご質問については、あなたが私のホームページを参照してすることができます:
http://homepage.usask.ca/〜mot942 /
または私午後。

マットTayfeh

 
また、最近:

リーガとその応用

フォルカーSaile(編集)、ウルリケWallrabe(編集)、田畑修(編集)、01 G. Korvink(編集)、オリバーのブランド(シリーズエディタ)、ゲイリーK. Fedder(シリーズエディタ)、クリストファーHierold(シリーズエディタ)でお気に入り新刊案内- VCH、版ISBN:9783527316984、オンライン、ISBN:9783527622573、2009。

http://www3.interscience.wiley.com/cgi-bin/bookhome/122534720?CRETRY=1&SRETRY=0

http://www.amazon.com/LIGA-Applications-Advanced-Micro-Nanosystems/dp/3527316981/ref=sr_1_1?ie=UTF8&s=books&qid=1262817331&sr=8-1

 

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