でその場ドーピング

[qiushidaren]

こんにちはすべて！
とはどういう意味その場はでドーピング？
事前にありがとう！

 

[Guest]

材料が栽培されているドープそれはときに。たとえば、ポリ場合dopositedですドープするポリし、我々は、ドーピング場と呼ぶこのドーピングをした。

 

[qiushidaren]

そして、何をのためのその場のスタンドでは？

 

[cougar168]

それは場所です撮影沈着が意味が追加されますドーパントを

 

[chuan556]

のIn - situドーピングは、ドーパント不純物またはですがプロセス堆積中に追加されます。たとえば、フローシランと堆積ポリリンです。

 

[Guest]

[No message]

 

[leohart]

のin - situはされて意味の一部がことが起こるという言葉を同時に、フィールド場で発見科学/工学

 

[lladnar23]

これは、"の"のラテンの位置。
意味は、ドーピングは、ウエハ全体が発生する場所を正確にポリいる注入に反対するようにされて堆積。